微機電系統(tǒng)研究的新進展

    日本東京大學(xué)兩研究小組共同開發(fā)出了一種薄膜型無線通信系統(tǒng)，只需將電子設(shè)備放在薄膜上，即可在電子設(shè)備之間進行通信。其中，置有MEMS開關(guān)的開關(guān)薄膜是此套系統(tǒng)的重要技術(shù)環(huán)節(jié)。

      MEMS（微機電系統(tǒng)）因其體積小，便于多功能集成，適合采用大批量制造工藝而極大地降低成本等特點，向人們展示了廣闊應(yīng)用前景，在流體中的應(yīng)用潛力也非常誘人。我國微機電系統(tǒng)研究也有很多先進的成果，成都電子科技大學(xué)機械電子工程學(xué)院教授丁杰雄的“MEMS中基于多模諧振的超聲波懸浮顆粒分離方法研究”便是其中之一。

     丁杰雄教授認(rèn)為，對含有懸浮顆粒的混合流體而言，懸浮顆粒往往是問題的核心，超聲波能對流體中的懸浮顆粒產(chǎn)生一個平均作用力，該力可用于控制懸浮顆粒的運動而實現(xiàn)顆粒分離。由于MEMS的結(jié)構(gòu)特點，很多宏觀上常用的分離方法受到這樣那樣的限制，而超聲波器件在制造工藝上與MEMS方便兼容，超聲波處理懸浮顆粒的技術(shù)有著極大的潛在應(yīng)用價值，特別是隨著生物技術(shù)對人類社會的影響作用不斷加強，其社會效益和經(jīng)濟價值更是無法估量。在國外提出的利用超聲波多層諧振和層流的MEMS分離方法基礎(chǔ)上，丁杰雄教授結(jié)合MEMS結(jié)構(gòu)和工藝特點，研究基于腔體多模諧振的超聲波懸浮顆粒分離方法，包括二維駐波聲場的微諧振腔結(jié)構(gòu)模型、微流體通道和出入口結(jié)構(gòu)的建摸與優(yōu)化，研制微分離器件并開展分離效果影響因素的實驗研究，具有較高水平。